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技術(shù)文章

白光干涉測厚儀的優(yōu)勢和設(shè)備的亮點(diǎn)有哪些

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   白光干涉測厚儀是一種新型的表面形貌測量方法,能夠?qū)崿F(xiàn)對樣品表面形貌的三維測量。它通過掃描定位被測樣品表面各點(diǎn)的最佳干涉位置得到表面各點(diǎn)相對高度,重構(gòu)表面三維輪廓,實(shí)現(xiàn)對樣品表面三維形貌的測量。
 
  白光干涉測厚儀的優(yōu)勢:
  測量精度高、速度快,穩(wěn)定性好。
 ?、偈褂酶咝阅芎つ始す馄?,結(jié)合伺服穩(wěn)頻控制系統(tǒng),達(dá)到高精度穩(wěn)頻。
 
  ②以光波長為測量單位,分辨率可達(dá)nm級。
 
 ?、凼褂酶咚俟怆娦盘柌蓸雍吞幚砑夹g(shù),測量速度快。
 
 ?、芘浜嫌协h(huán)境補(bǔ)償單元,在環(huán)境變化的情況下,也可以得到較高的測量精度。
 
  ⑤分離式干涉鏡設(shè)計(jì),避免了測量鏡組由于主機(jī)發(fā)熱而引起的鏡組形變。
 
  白光干涉測厚儀的設(shè)備亮點(diǎn):
  1、差值算法
  同點(diǎn)測量應(yīng)用時(shí),X射線測厚儀不能使用簡單的面密度差值算法,X射線測厚儀的差值算法,精準(zhǔn)的將凈涂布量的面密度計(jì)算出來。
 
  2、探頭
  采用低能量的X射線,核心部件進(jìn)口,無輻射污染、環(huán)保豁免、壽命長。X光束的能量可以通過調(diào)節(jié)加速電壓來優(yōu)化測量范圍。
 
  3、驅(qū)動、通訊
  采用高精度伺服電機(jī),定位精度高,重復(fù)性好,速度閉環(huán)控制功能;
  采用無延時(shí)實(shí)時(shí)網(wǎng)絡(luò)通訊,信號采樣周期10ms,幾臺測厚儀做同點(diǎn)測量時(shí),確保幾臺測厚儀的掃面路徑*一致
 
  4、掃描架
  O型掃描架,采用鋼板一體折彎而成,不易變形,全封閉式設(shè)計(jì)。

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